1、处理过程：
真空热处理时，将金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件加热，然后在油或气体中淬火冷却。由于真空热处理时，工件基本不氧化，钢件不脱碳，采用通气对流加热方式还可使加热均匀，减少表面和心部温差，从而也减少畸变。另外真空热处理过程中不会产生任何污染环境的物质，无公害。
2、主要应用：
真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是目前它已成为优质工模具不可或缺和首选的热处理工艺。经真空热处理后模具使用寿命大为提高。如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40-400%，而有许多工具的寿命可提高3-4倍。此外，真空加热炉可在较高温度下工作，且工件可以保持洁净的表面，因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。因此，某些化学热处理，如渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗都能得到更快、更好的效果。
3、发展前景：
这些年来，真空热处理始终是国际热处理技术发展的热点，我国近年来也得到迅速发展。现在真空热处理已经进入技术领域不断扩大，工艺水平逐渐提高，真空热处理设备不断完善和智能化，新技术接连涌现的稳定发展阶段。真空热处理工艺的发展方兴未艾，前景美好。
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